突破sic生長關鍵核心材料
碳化硅晶體生長時,晶體軸向中心與邊緣的生長界面的“環境”不同,使邊緣的晶體應力徒增,且晶體邊緣由于石墨檔環"碳”的影響,容易產生“綜合缺陷”,如何解決邊緣問題或增加中心有效面積(95%以上)是重要的技術課題。
隨著“微管”“包裹物”等宏觀缺陷逐漸被行業控制,挑戰碳化硅晶體“長快、長厚、長大”,邊緣“綜合缺陷”就異常突顯,隨著碳化硅晶體直徑、厚度的增加,邊緣“綜合缺陷”會以直徑平方及厚度成倍數增加。
采用碳化鉭TaC涂層, 是解決邊緣問題,提高晶體生長質量,是“長快、長厚、長大”的核心技術方向之一。為了推動行業技術發展,解決關鍵材料“進口”依賴,恒普突破性解決了碳化鉭涂層技術(CVD),達到了國際先進水平。

碳化鉭TaC涂層,從實現的角度并不困難,用燒結、CVD等方法都容易實現。燒結法,采用碳化鉭粉或前驅體,添加活化成分(一般為金屬)和粘接劑(一般為長鏈高分子),涂覆到石墨基材表面高溫燒結。CVD法,采用TaCl5+H2+CH4,在900-1500℃,沉積到石墨基體表面。
但碳化鉭沉積的晶向,膜厚均勻、涂層與石墨基體的應力釋放、表面裂紋等基礎參數,卻極具挑戰。特別是能在sic晶體生長環境下,有穩定的使用壽命是核心參數,是最難點。

恒普技術| 零實驗室,致力于材料的基礎研究和創新方向探索。