
主要特征
8-40目/mesh
顆粒度精確可控
99.9995%
純度不低于99.9995%
純度:指采用GDMS全元素檢測(不含N元素), 使用100%減去所測元素含量所得值,其中小于 檢測限的元素按照0%的濃度進行統(tǒng)計
參數(shù)表
高純度SiC原料(用于導電單晶生長)
元素 | 單位 | 含量 |
---|---|---|
B | ppm | <0.20 |
AI | ppm | <0.20 |
V | ppm | <0.10 |
Ti | ppm | <0.10 |
Fe | ppm | <0.10 |
Na | ppm | <0.20 |
P | ppm | <0.20 |
S | ppm | <0.50 |
Co | ppm | <0.05 |
Ni | ppm | <0.05 |
Zr | ppm | <0.50 |
W | ppm | <0.50 |
純度 | % | ≥99.9995 |
粒徑分類 | 粒徑占比 | 形貌 |
5-8# | ≥95% | 顆粒料 |
8-20# | ≥95% | 顆粒料 |
20-40# | ≥95% | 顆粒料 |
8-20# | ≥95% | 針狀料 |
20-40# | ≥95% | 針狀料 |
粒徑分類 | 粒徑占比 | 形貌 |
---|---|---|
5-8# | ≥95% | 顆粒料 |
8-20# | ≥95% | 顆粒料 |
20-40# | ≥95% | 顆粒料 |
8-20# | ≥95% | 針狀料 |
20-40# | ≥95% | 針狀料 |
以上為典型值 |
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